本實用新型為一種半導(dǎo)體行業(yè)研磨和切割廢水回用裝置,其特征在于:包括研磨廢水回用裝置、切割廢水回用裝置;所述研磨廢水回用裝置包括依次連接的研磨廢水收集池、研磨廢水提升泵、第一袋式過濾器、第一濁度計、研磨廢水調(diào)節(jié)池、研磨廢水輸送泵、第一疊片式過濾器、第一壓力控制器、第一超濾裝置,所述研磨廢水流入研磨廢水收集池,所述第一超濾裝置連接回用水出水管路;所述切割廢水回用裝置包括依次連接的切割廢水收集池、切割廢水提升泵、第二袋式過濾器、第二濁度計、切割廢水調(diào)節(jié)池、切割廢水輸送泵、第二疊片式過濾器、第二壓力控制器、第二超濾裝置,所述切割廢水流入切割廢水收集池,所述第二超濾裝置連接回用水出水管路。
聲明:
“半導(dǎo)體行業(yè)研磨和切割廢水回用裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)