本發(fā)明提供了一種高氨氮含砷含氟光伏廢水處理方法及系統(tǒng)，所述方法包括：S1、將廢水經(jīng)均質(zhì)、過濾處理后進(jìn)行pH調(diào)節(jié)處理；S2、將經(jīng)步驟S1處理后的廢水依次進(jìn)行蒸氨汽提處理、pH調(diào)節(jié)處理、高級(jí)氧化處理、混凝沉淀處理、過濾處理、RO處理、深度吸附處理和MVR處理。所述系統(tǒng)包括依次相連的pH調(diào)節(jié)池、蒸氨汽提系統(tǒng)、pH調(diào)節(jié)池、高級(jí)氧化系統(tǒng)、混凝沉淀系統(tǒng)、過濾系統(tǒng)、RO系統(tǒng)、深度吸附系統(tǒng)、MVR系統(tǒng)。經(jīng)過本發(fā)明處理后高氨氮含砷含氟光伏廢水的出水中氨氮值、COD值、氟離子達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)且運(yùn)行穩(wěn)定，As經(jīng)處理后可達(dá)到ICP?MS的儀器檢出限以下(約10ng/L)。本發(fā)明具有較大的環(huán)境效益和直接的經(jīng)濟(jì)效益。