一種輕度污染廢水的深度凈化方法，其特征在于處理過程如下：(1)經(jīng)生化處理后的化工污水進(jìn)入曝氣生物反應(yīng)器，并使污水浸沒反應(yīng)器內(nèi)的填料，其出水加入絮凝劑，經(jīng)充分混合后進(jìn)入砂過濾器，所述的絮凝劑為聚合氯化鋁鐵及聚丙烯酰胺，其加入量分別為20-50mg/l和2-4mg/l，所述的化工污水COD≤120mg/l、NH3-N≤20mg/l、懸浮物≤50mg/l；(2)由步驟(1)砂過濾器的出水與臭氧混合后進(jìn)入生物活性炭塔，停流10-15分鐘，所述的臭氧量為5-10mg/l；(3)經(jīng)步驟(2)生物活性炭塔氧化后的水依次進(jìn)入兩個串聯(lián)的多介質(zhì)過濾器過濾；(4)步驟(3)過濾后的水進(jìn)入復(fù)合過濾器過濾，出水達(dá)到循環(huán)水補水標(biāo)準(zhǔn)；(5)經(jīng)步驟(4)過濾后的水再經(jīng)微濾機(jī)過濾，達(dá)到脫鹽水補水標(biāo)準(zhǔn)。