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微電子行業(yè)廢磷酸資源化利用方法

1158   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 02:39:33
本發(fā)明公開了一種微電子行業(yè)廢磷酸資源化利用方法,涉及液晶面板、半導(dǎo)體晶圓、集成電路企業(yè)電子級(jí)廢磷酸資源化制備工業(yè)級(jí)磷酸脲的方法。包含以下步驟:(1)廢磷酸與尿素升溫反應(yīng)合成;(2)磷酸脲配置液靜態(tài)吸附通過(guò)活性炭、陽(yáng)離子交換樹脂、陰離子交換樹脂;(3)去離子磷酸脲溶液負(fù)壓蒸發(fā)濃縮冷卻結(jié)晶分離;(4)一次結(jié)晶加水升溫重溶再冷卻重結(jié)晶;(5)低溫?zé)犸L(fēng)干燥重結(jié)晶晶體。本發(fā)明與現(xiàn)有電子級(jí)廢磷酸降級(jí)使用相比,能夠得到高純度磷酸脲產(chǎn)品,具有較高的工業(yè)價(jià)值,具有廣闊的市場(chǎng)應(yīng)用前景。本發(fā)明全處理過(guò)程操作簡(jiǎn)單、投入試劑廉價(jià)、副產(chǎn)廢物滿足一般生化廢水站要求,是電子級(jí)廢磷酸資源化利用的最優(yōu)選擇。
聲明:
“微電子行業(yè)廢磷酸資源化利用方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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