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濕電子化學(xué)的硅基材料蝕刻液及其制備方法

725   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 02:42:14
本發(fā)明具體涉及一種濕電子化學(xué)的硅基材料蝕刻液,按重量份數(shù)計,包括以下組分:甲基磺酸25?45份;氟化物10?30份;水溶性酸30?60份;絡(luò)合劑05?9.5份;潤濕劑0.5?3.5份;水余量至總量100份;其中,所述水溶性酸包括硝酸、硫酸、磷酸、高氯酸、亞磺酸、甲酸、乙酸、檸檬酸、異檸檬酸、及乙醇酸中的至少一種;所述氟化物包括三氟甲磺酸、氟化鈉、氟化氫鈉、氟化銨、氟化氫銨、氟硼酸銨、氟化鉀、氟化氫鉀、氟化鋁、氟硼酸、氟化鋰、氟硼酸鉀及氟化鈣中的至少一種。所述濕電子化學(xué)的硅基材料蝕刻液能夠?qū)杌暹M行安全、穩(wěn)定、高效的蝕刻,并能夠很好的解決蝕刻過程中產(chǎn)生的難溶性副產(chǎn)物問題且生產(chǎn)過程工業(yè)安全的風(fēng)險較低,廢水處理程序上所需的成本降低。
聲明:
“濕電子化學(xué)的硅基材料蝕刻液及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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