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可裁剪的雙面納米帶電極陣列集成傳感器

961 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 02:46:41

本實用新型公開了一種可裁剪雙面納米帶電極陣列集成傳感器。選用硅片或玻璃作基底,采用MEMS技術將兩種不同的電極材料沉積在基底的正反兩個平面上,以光刻技術形成上下面對稱的梳狀工作電極和參考電極陣列,采用PECVD方法在兩側分別沉積有氮化硅絕緣層,光刻露出焊盤,在兩面絕緣層上刻制與電極方向垂直的多條切割線。傳感器定期裁剪拋光,多次使用延長器件壽命,提高并保持電極的一致和穩(wěn)定性。傳感器固定在TEFLON腔體內,采用差分脈沖陽極溶出伏安法,采集被測溶液的阻抗以及氧化還原電流信號。它可在江河湖海、生物醫(yī)學、工業(yè)廢水廢氣等領域中直接對溶液中的陰陽離子濃度進行定量檢測,進行表面修飾后可對生物分子進行定性檢測。

聲明：

“可裁剪的雙面納米帶電極陣列集成傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)