本實(shí)用新型公開了一種硅片清洗設(shè)備的抽風(fēng)通道,包括設(shè)置在設(shè)備箱體內(nèi)部上方的抽風(fēng)道,和穿透設(shè)備箱體上壁與抽風(fēng)道連通的抽風(fēng)口法蘭;在抽風(fēng)道側(cè)壁上設(shè)有多個(gè)抽風(fēng)孔及分別與抽風(fēng)孔配合的風(fēng)量調(diào)節(jié)板。本實(shí)用新型在抽風(fēng)口法蘭連接相應(yīng)抽氣設(shè)備后,抽風(fēng)裝置通過清洗槽面上方的抽風(fēng)孔把操作區(qū)域的廢氣經(jīng)抽風(fēng)道及時(shí)抽走,補(bǔ)充新鮮空氣進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部;抽風(fēng)道后部開有風(fēng)道清理窗口,能滿足人工清理整個(gè)抽風(fēng)道內(nèi)的結(jié)晶或粉塵的要求;另外,抽風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有噴淋管,可自動(dòng)定時(shí)清洗抽風(fēng)道,廢水由排放管道進(jìn)入用戶廢水處理系統(tǒng)。
聲明:
“硅片清洗設(shè)備的抽風(fēng)通道” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)