本實(shí)用新型揭示了一種半導(dǎo)體有機(jī)清洗設(shè)備的供水系統(tǒng),該供水系統(tǒng)的組成包括用于回收清洗廢水的加熱水箱,與加熱水箱排放管相連的清洗泵,以及從清洗泵連至工藝腔的出水管路,其中加熱水箱中設(shè)有與其中貯水直接接觸的電磁加熱系統(tǒng),且加熱水箱中設(shè)有測(cè)量范圍高于60℃的水溫采集裝置。通過(guò)自動(dòng)階梯式的電磁加熱保持水質(zhì),并且該加熱水箱還一個(gè)多套系統(tǒng)共用。應(yīng)用本實(shí)用新型的技術(shù)方案,可以在滿(mǎn)足半導(dǎo)體清洗所用超純水要求下,省卻傳統(tǒng)系統(tǒng)的多個(gè)過(guò)濾器及電阻率測(cè)量裝置,從而節(jié)省了可觀的加工成本,大大增加了設(shè)備正常運(yùn)行的時(shí)間。
聲明:
“半導(dǎo)體有機(jī)清洗設(shè)備的供水系統(tǒng)” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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