本發(fā)明提供一種氯
硅烷尾氣處理方法,包括以下步驟:1)廢氣冷凝預(yù)處理階段,所述氯硅烷淋洗階段中廢氣進(jìn)入第一級淋洗塔,除去酸性氣體;將廢氣中所含的氯硅烷氣體溫度降低到沸點以下,使得尾氣中的大部分氯硅烷氣體由氣態(tài)轉(zhuǎn)變成液態(tài);余下未被冷凝的尾氣等不凝性氣體進(jìn)行下一階段處理;所述冷凝后的液態(tài)氯硅烷流到氯硅烷冷凝液儲罐中,經(jīng)冷凝液輸送泵加壓后輸送到氫化儲罐存儲循環(huán)備用;2)氯硅烷淋洗階段,經(jīng)過冷凝預(yù)處理后的尾氣進(jìn)行二級淋洗除去大部分酸性氣體,剩余尾氣中主要成分為氫氣,氮氣等不凝性氣體收集備用;淋洗后的廢水進(jìn)行下一段處理;3)廢水處理階段,淋洗后的廢水經(jīng)中和反應(yīng)沉降為固態(tài)污泥排出。
聲明:
“氯硅烷尾氣處理方法與裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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