本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體回收水處理裝置,包括:回收水貯槽、臭氧發(fā)生裝置、還原劑貯槽、第一混合器和第二混合器。所述裝置可有效減低半導(dǎo)體回收水中的總有機碳濃度TOC,從而提高半導(dǎo)體廢水的回收率和降低成本。本發(fā)明還涉及一種降低半導(dǎo)體回收水中TOC的方法。
聲明:
“半導(dǎo)體回收水的臭氧處理裝置及其方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)