本發(fā)明提供了一種氣相法制備光纖預(yù)制棒的尾氣循環(huán)利用系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含泵端輸氣密封裝置、粉塵余熱收集裝置、過(guò)濾網(wǎng)、脫水除塵裝置、氣體過(guò)濾器、真空發(fā)生器、氣體存儲(chǔ)罐、氣體分離裝置、Cl2存儲(chǔ)罐、O2/He存儲(chǔ)罐、過(guò)濾調(diào)壓裝置、氣體緩存罐、檢測(cè)器、流量計(jì)及相應(yīng)的管道。該系統(tǒng)不僅可以利用生產(chǎn)過(guò)程中的余熱，還可以將粉塵（主要是高純二氧化硅可用于玻璃制備）、尾氣分離。而尾氣又可以進(jìn)一步分離為O2/He混合氣體、Cl2，用于工藝生產(chǎn)。該系統(tǒng)是一個(gè)密封的循環(huán)系統(tǒng)，既可以對(duì)反應(yīng)后的粉塵、尾氣、余熱進(jìn)行綜合利用，還避免了將反應(yīng)產(chǎn)物當(dāng)廢物處理時(shí)造成資源浪費(fèi)、廢氣廢水處理成本高以及可能的環(huán)境污染問(wèn)題。