一種分離、回收和重新使用廢棄的在從硅錠上切硅晶片過程中所用的漿料中的各成分的方法,在該方法中,降低廢漿料的粘度,把漿料的潤滑液成分與固體分離并收集,所收集的潤滑液成分適合于在新漿料的制備過程中重新使用,而沒有必要進(jìn)行任何額外的分離步驟。另外,可以收集所分離的固體,并進(jìn)一步分離成未失效的磨料顆粒成分和廢產(chǎn)物部分,未失效的磨料顆粒成分適合于在新漿料的制備過程中重新使用,廢產(chǎn)物含有硅顆粒和廢磨料顆粒。
聲明:
“廢乙二醇基漿料的分離,再生和重新使用的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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