一種用于處理來自銅CMP工藝的廢物流的方法,所述廢物流包括溶解的銅和具有小于0.75μm的數(shù)加權(quán)平均尺寸的磨料顆粒,所述方法包括將廢物流引入到進(jìn)料罐中;使所述廢物流從所述進(jìn)料罐流入到超濾模塊中;使廢物流過濾穿過超濾模塊的膜以形成貧固體濾液;引導(dǎo)來自超濾模塊的貧固體濾液穿過離子交換單元以去除溶解的銅并產(chǎn)生經(jīng)處理的水溶液,所述經(jīng)處理的水溶液具有比廢物流的銅濃度低的銅濃度;反洗膜超濾模塊以從超濾模塊的膜上去除漿料固體;以及將去除的漿料固體與經(jīng)處理的水溶液組合以形成具有適合于排放到環(huán)境中的銅濃度的組合的排放流。
聲明:
“用超濾和離子交換處理漿料銅廢水” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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