本發(fā)明涉及一種硅片切割廢液中碳化硅粉體回收提純方法,是一種硅片切割廢液資源化回收利用。本發(fā)明包括:向硅片切割廢液中加入稀釋劑攪拌,以達(dá)到降低粘度和去除鐵屑的目的;將反應(yīng)后的懸浮液進(jìn)行固液分離;用蒸餾水洗滌固體物料至中性,離心,烘干;將該固體物料與一定量的焦炭混合,放置在1500℃~2000℃的氣氛爐中反應(yīng),將固體物料中的硅轉(zhuǎn)化成碳化硅;反應(yīng)制得固體粉料經(jīng)過氧氣氣氛爐反應(yīng)除去過量的焦炭得到高純碳化硅粉體,將該粉體經(jīng)分級(jí)設(shè)備進(jìn)行分級(jí);對(duì)分出的不同粒徑的碳化硅粉體進(jìn)行分號(hào)包裝。本發(fā)明提供了一種工藝簡單,回收成本較低的工藝,這不僅有效的避免了切割廢液直接排放造成的資源浪費(fèi)及環(huán)境污染,同時(shí)還降低了硅片切割的生產(chǎn)成本,是一種變廢為寶的技術(shù)。
聲明:
“硅片切割廢液中碳化硅粉體回收提純方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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