本發(fā)明涉及一種
多晶硅制絨刻蝕廢液的處理方法,它包括以下步驟:(a)在攪拌條件下,向廢液中加入堿金屬化合物反應(yīng)至不再產(chǎn)生沉淀,過濾得第一沉淀和第一濾液;(b)在攪拌條件下,向所述第一濾液中加入堿土金屬化合物反應(yīng)至不再產(chǎn)生沉淀,過濾得第二沉淀和第二濾液;(c)對(duì)所述第二濾液進(jìn)行濃縮結(jié)晶得硝酸鹽固體。本發(fā)明多晶硅制絨刻蝕廢液的處理方法,通過向廢液中加入堿金屬化合物反應(yīng)至不再產(chǎn)生沉淀,過濾后向?yàn)V液中加入堿土金屬化合物再過濾,最后濃縮,這樣能夠?qū)U液中的氟硅酸根離子、氟離子除去,并得到氟硅酸鹽、氟化鹽及硝酸鹽固體,既能夠保護(hù)環(huán)境,又能夠產(chǎn)生新的經(jīng)濟(jì)效益。
聲明:
“多晶硅制絨刻蝕廢液的處理方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)