本發(fā)明公開了一種
芯片生產線的鎳廢水處理方法,屬于芯片生產廢水處理技術領域。所述廢水處理方法包括廢水收集、廢水蒸發(fā)、廢氣處理和固體廢渣處理;所述廢水蒸發(fā)是在蒸發(fā)室內通入高溫氣體進行加熱蒸發(fā),蒸發(fā)時間為12~16h,蒸發(fā)溫度為180~220℃。本發(fā)明通過物理蒸發(fā)方法將廢水進行分離后,分別處理,具有方法簡單、處理效果高、不使用化學試劑,對環(huán)境友好的優(yōu)點。
聲明:
“芯片生產線的鎳廢水處理方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)