本發(fā)明涉及一種銅蝕刻廢液的處理方法,包括:將銅蝕刻廢液在負載有催化劑的固體填料的作用下分解,得到第一廢液及第一廢氣;調節(jié)第一廢液的pH至8~10得到第二廢液;將第二廢液蒸餾得到餾出液和濃縮液;將餾出液生化處理得到凈化液和第二廢氣;將濃縮液焚燒處理得到第三廢氣;及將第一廢氣、第二廢氣與第三廢氣用廢氣處理設備處理。上述銅蝕刻廢液的處理方法能夠有效控制銅蝕刻廢液中過氧化氫的分解速度,提高過氧化氫分解的安全性,且處理過程中無臭氣排出,不會污染環(huán)境。
聲明:
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