本發(fā)明涉及一種工業(yè)清洗廢水的零排放處理工藝,屬于水處理技術(shù)領(lǐng)域。為了解決在對(duì)硅片表面去除硅片表面的污染物和自身氧化物的過程中所產(chǎn)生的大量廢水無較好的處理方法的問題,本發(fā)明公開了一種對(duì)清洗廢液的處理方法,本方法一方面能夠有效地回收其中的硅粉等固體,另一方面,能夠有效地對(duì)清洗液中的有效成分進(jìn)行回收利用,同時(shí),也能實(shí)現(xiàn)整個(gè)清洗液的零排放的效果。
聲明:
“工業(yè)清洗廢水的零排放處理工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)