本發(fā)明涉及了一種從硅片切割產(chǎn)生的廢砂漿中回收碳化硅微粉的方法,該方法首先對廢砂漿利用離心機進行固液分離,將分離后的固態(tài)砂與水混合攪拌;采用磁選除鐵,然后加入一定量的分散劑,并超聲處理;通過沉降或進行水力溢流沖洗實現(xiàn)硅和碳化硅顆粒的分離以及碳化硅顆粒自身的分級;最后對分級后的固體進行干燥并進一步采用旋風分級機將未完全分離的硅粉和碳化硅顆粒進一步分離,從而獲得高純度的碳化硅粉。本發(fā)明可以有效的回收硅晶棒切割廢砂漿中的碳化硅微粉,回收效率高,環(huán)境污染小,并能滿足硅棒線切割的要求,可循環(huán)使用,極大降低了企業(yè)生產(chǎn)成本。
聲明:
“從硅片切割產(chǎn)生的廢砂漿中回收碳化硅微粉的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)