本發(fā)明公開了三甲
硅烷基胺的制備方法及系統(tǒng),包括如下內(nèi)容:將N
2、H
2、SiCl
xH
4?x的混合氣體在電磁場(chǎng)作用下反應(yīng),0≤x≤2。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了氮?dú)馀c氫氣的非熱等離子體與氯硅烷的高效反應(yīng),在低溫低壓條件下成功制得三甲硅烷基胺,條件溫和,安全性高;且無固體副產(chǎn)物生產(chǎn),產(chǎn)物分離難度小,無需
固廢處理,工藝簡(jiǎn)單,可操作性強(qiáng),有利于大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)。
聲明:
“三甲硅烷基胺的制備方法及系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)