一種氣固分離系統(tǒng),至少包含旋流捕捉裝置及負(fù)壓廢氣處理裝置,旋流捕捉裝置具有連通之氣體出入腔及旋流分離腔,氣體出入腔具有氣體導(dǎo)入管連通制程廢氣源以及氣體導(dǎo)出管連通負(fù)壓廢氣處理裝置。其中,制程廢氣源所提供之制程廢氣系經(jīng)由氣體導(dǎo)入管導(dǎo)入氣體出入腔中并產(chǎn)生氣旋,藉以從制程廢氣中分離出部分固體顆粒,并且使制程廢氣經(jīng)由氣體導(dǎo)出管傳輸至負(fù)壓廢氣處理裝置,藉以進(jìn)一步從制程廢氣中分離出其余固體顆粒。
聲明:
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