本實(shí)用新型是一種揮發(fā)性有機(jī)氣體蓄熱燃燒處理系統(tǒng),包括:一入流廢氣預(yù)先加熱單元、捕集網(wǎng)與重力沉降集塵處理單元與多管旋風(fēng)集塵處理單元。其中,將制程機(jī)臺(tái)所排放的VOCS廢氣,以制程機(jī)臺(tái)風(fēng)管銜接單元輸入廢氣預(yù)先加熱單元,將廢氣預(yù)先加熱,使得廢氣中的有機(jī)物質(zhì)形成膠狀型態(tài)與無機(jī)物質(zhì)(硅化合物)氧化為二氧化硅固體型態(tài),經(jīng)捕集網(wǎng)與重力沉降集塵處理單元截除膠狀物質(zhì)與大顆粒固體物質(zhì),再經(jīng)多管旋風(fēng)集塵處理單元截除較小顆粒固體物質(zhì),并經(jīng)排放風(fēng)管銜接單元排放至后段VOCS再生燃燒處理系統(tǒng)(RTO)進(jìn)行VOCS處理,以達(dá)到保護(hù)RTO內(nèi)部蜂巢式蓄熱燃燒處理系統(tǒng)的目的。
聲明:
“揮發(fā)性有機(jī)氣體蓄熱燃燒處理系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)