一種用于使四鹵化硅及冶金級硅(MGS)氫化成三鹵
硅烷的反應(yīng)器,其包括由冶金硅顆粒構(gòu)成的底座、一個或多個進氣口、一個或多個固體進口、一個或多個固體排出口及一個或多個用于從反應(yīng)器中移除三鹵硅烷的端口。由于進入反應(yīng)器的四鹵化硅/氫氣進料流中夾帶進料硅顆粒以及在所述硅顆粒構(gòu)成的底座上碰撞所述流而引起內(nèi)部磨削及磨蝕,使底座顆粒上可形成新生表面。這樣具有的優(yōu)點為較高的三鹵硅烷產(chǎn)率、較高的MGS燃耗率、可將廢MGS作為在離開反應(yīng)器的三鹵硅烷排出物中所攜帶的細粉塵而去除、以及在停機進行底座移除之間間隔的時間較長。
聲明:
“使四鹵化硅及硅氫化成三鹵硅烷的裝置和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)