本發(fā)明涉及氨氣的回收方法以及使用其的氨氣的再利用方法,提供可從廢氣中高效且容易地將氨氣回收并且再利用的方法,該廢氣由氮化鎵類化合物半導體的制造工序排出,氨氣含有率低。將廢氣進行過濾器過濾而去除該廢氣中所含的固體化合物,然后進行加壓處理以及基于熱泵的冷卻處理,將該廢氣中所含的氨氣液化而與氫氣和氮氣分離,將氨氣回收。另外,將所回收的液氨氣化,與和該氨氣不同的粗氨氣混合,然后將該混合氣體進行精制而供給于氮化鎵類化合物半導體的制造工序。
聲明:
“氨氣的回收方法以及使用其的氨氣的再利用方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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