本發(fā)明涉及用來產生和循環(huán)氟的設備和方法,申請人認識到氟分離器單獨使用或與等離子體發(fā)生器結合,能在用于薄膜加工的地點生產足夠量的氟。氟分離器可以是冷凝器,膜分離裝置,是固體電解質的氟離子導體或前述的組合形式。在某些實施方式中,含氟的反應產物通過氟分離器。在其他實施方式中,分離的氟單獨或與其他含氟原料結合通入等離子體發(fā)生器。氟分離器將氟循環(huán),并從體系中除去廢產物。
聲明:
“產生氟和循環(huán)氟的方法和設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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