本實用新型公開了一種六氟化硫氣體回收及提純系統(tǒng),它包括:凈化處理設(shè)備,用于去除粗六氟化硫尾氣中固體和/或水分和/或部分氣體污染物,得到初步凈化后的第一中間產(chǎn)物;與所述凈化處理設(shè)備連接的冷卻液化設(shè)備,用于對第一中間產(chǎn)物中的六氟化硫進(jìn)行冷凝、液化,得到第二中間產(chǎn)物和第一次高濃度廢氣;與所述冷卻液化設(shè)備連接的精餾純化設(shè)備,用于對第二中間產(chǎn)物精餾純化,得到高純度的六氟化硫液體,同時使得第二中間產(chǎn)物中殘留的雜質(zhì)相變?yōu)闅鈶B(tài),作為第二次高濃度廢氣排出;與所述精餾純化設(shè)備連接的固化回收設(shè)備。本實用新型的一種六氟化硫氣體回收及提純系統(tǒng),回收純度高,能夠減少液氮的消耗。
聲明:
“六氟化硫氣體回收及提純系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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