本發(fā)明公開了一種用于流式細(xì)胞儀的微流控芯片結(jié)構(gòu)及其制作方法，該芯片包括樣品液入口1，狀陣列結(jié)構(gòu)6，錐形聚焦結(jié)構(gòu)7，微通道8，檢測區(qū)4，擴(kuò)流通道9，廢液出口端5；柱狀陣列結(jié)構(gòu)6具有過濾樣品液內(nèi)部的團(tuán)聚蛋白質(zhì)雜質(zhì)及其他大塊生物固體雜質(zhì)的作用；錐形聚焦結(jié)構(gòu)7具有類似于傳統(tǒng)的鞘流液系統(tǒng)的聚焦效果，使得細(xì)胞顆粒單個(gè)流入微通道8；微通道8通過通道束縛細(xì)胞使其單個(gè)通過檢測區(qū)4。本發(fā)明所述芯片結(jié)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)無鞘流液的聚焦作用而不產(chǎn)生堵塞從而減少了鞘流液的使用，同時(shí)保證了細(xì)胞顆粒單個(gè)通過檢測區(qū)。該微流控芯片加工方法方便，所用的鍵合方法為常用的鍵合方法，操作簡便，使用材料PDMS易于加工且具有良好的生物兼容性。