本發(fā)明公開了一種實(shí)驗(yàn)室制備單晶硅設(shè)備,包括機(jī)殼,機(jī)殼內(nèi)設(shè)有粉末下落腔,粉末下落腔上端壁內(nèi)設(shè)有齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)腔,齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)腔上端壁內(nèi)設(shè)有碾壓腔,粉末下落腔下端壁內(nèi)設(shè)有反應(yīng)腔,反應(yīng)腔下端壁內(nèi)設(shè)有可燃?xì)怏w反應(yīng)腔,可燃?xì)怏w反應(yīng)腔左端壁內(nèi)設(shè)有儲(chǔ)油腔,儲(chǔ)油腔左端壁內(nèi)設(shè)有廢氣吸收腔,硅棒生成腔上端壁內(nèi)設(shè)有第二齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)腔,機(jī)殼內(nèi)設(shè)有研磨機(jī)構(gòu)、氣體處理機(jī)構(gòu)、結(jié)晶機(jī)構(gòu),研磨機(jī)構(gòu)通過設(shè)置了齒輪電機(jī)和第二齒輪,從而能夠研磨固體降低反應(yīng)溫度,氣體處理機(jī)構(gòu)通過設(shè)置了碳酸鈣存放腔和稀鹽酸存儲(chǔ)腔,從而能夠防止易燃易爆氣體發(fā)生爆炸,結(jié)晶機(jī)構(gòu)通過設(shè)置了第二齒輪電機(jī)和定心柱,從而使得單晶硅成型的更為均勻。
聲明:
“實(shí)驗(yàn)室制備單晶硅設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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