本發(fā)明是關(guān)于一種處理含全氟化合物及/或含氫氟烴廢氣的方法,此方法是將含全氟化合物及/或含氫氟烴廢氣與鐵氧化物觸媒進(jìn)行氣固接觸,并進(jìn)行電漿氧化反應(yīng),之后再以觸媒進(jìn)行氣固接觸及氧化反應(yīng),以達(dá)到分解全氟化合物及/或含氫氟烴的目的。由于本發(fā)明可在較先前技術(shù)低許多的溫度下操作,其能源消耗小且不具著火危險(xiǎn)性,因此,非常適合用來(lái)去除半導(dǎo)體及光電制造工廠所產(chǎn)生的含全氟化合物的廢氣。
聲明:
“處理含全氟化合物及/或含氫氟烴廢氣的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)