本發(fā)明提供一種裝設(shè)于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備中的粉塵過(guò)濾器，涉及粉塵過(guò)濾器技術(shù)領(lǐng)域。該裝設(shè)于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備中的粉塵過(guò)濾器，包括過(guò)濾器外殼，所述過(guò)濾器外殼的內(nèi)部活動(dòng)安裝有腔體，所述腔體的左側(cè)外表面連通有進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管的外表面固定安裝有第一氣泵，所述腔體的一側(cè)設(shè)置有集塵槽，所述集塵槽的內(nèi)部固定安裝有靜電吸附板。該裝設(shè)于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備中的粉塵過(guò)濾器，很好地對(duì)廢氣中的粉塵進(jìn)行了過(guò)濾，并對(duì)粉塵進(jìn)行收集，防止粉塵對(duì)設(shè)備內(nèi)部和外部造成污染，以及對(duì)人體造成危害，能夠?qū)瘔m槽內(nèi)部的粉塵進(jìn)行集中清理，以及便于對(duì)該粉塵過(guò)濾器進(jìn)行維護(hù)檢修，拆裝簡(jiǎn)單便捷。