本實用新型公開了一種適用于廢氣處理設(shè)備的頂蓋降溫裝置,涉及半導體行業(yè)廢氣處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,包括反應(yīng)腔頂蓋,所述反應(yīng)腔頂蓋下端設(shè)有連接槽,本實用新型結(jié)構(gòu)簡單,制造簡單,實用性高,通過在反應(yīng)腔頂蓋和反應(yīng)腔腔體之間設(shè)計一個隔熱棉,使得反應(yīng)腔頂蓋和反應(yīng)腔腔體之間有一個夾層,達到初步隔熱降溫的目的,再通過給反應(yīng)腔頂蓋通壓縮空氣,壓縮空氣從夾層中間部位流入至反應(yīng)腔腔體內(nèi),帶走反應(yīng)腔頂蓋的熱量,從而使反應(yīng)腔頂蓋溫度降低,解決現(xiàn)有技術(shù)中高溫度的反應(yīng)腔腔體通過熱傳導造成反應(yīng)腔頂蓋因溫度過高導致的設(shè)備器件損壞和對人員的燙傷等危害、存在較大安全隱患的缺陷。
聲明:
“適用于廢氣處理設(shè)備的頂蓋降溫裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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