本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種多級除濕裝置、廢氣處理系統(tǒng)及除濕控制方法，多級除濕裝置包括殼體和位于殼體內(nèi)部且沿殼體內(nèi)的氣體流向依次設(shè)置的第一風(fēng)扇、換熱組件和第二風(fēng)扇，第一風(fēng)扇、換熱組件和第二風(fēng)扇同軸設(shè)置。氣體在換熱組件處遇冷降溫，氣體中的水分冷凝，第一風(fēng)扇與第二風(fēng)扇增強氣體流動的對流效果，加速氣體的降溫干燥，對氣體達(dá)到除濕效果，使排出氣體的達(dá)到溫濕度要求。本發(fā)明的多級除濕裝置可在不影響負(fù)壓的情況下，直接安裝在廢氣處理系統(tǒng)內(nèi)，達(dá)到除濕效果，方便現(xiàn)有設(shè)備改造，降低廠務(wù)除濕需求更換機臺成本。解決半導(dǎo)體制造過程中對溫濕度方面的要求，提升設(shè)備除濕能力，降低廠務(wù)端酸排管路積水跌落，高危砸傷風(fēng)險。