本發(fā)明涉及氧化鋅摻雜的鈦酸鉍鈉?鈷酸鉍壓電薄膜及其制備方法，可有效克服鉛基薄膜材料在生產(chǎn)、使用及廢棄的過程中個生態(tài)環(huán)境和人類健康帶來的危害的問題，方法是，按照0.97Bi0.5Na0.5TiO3?0.03BiCoO3+x%wtZnO的化學計量稱取原料Bi2O3、NaCO3、TiO2、Co2O3和ZnO，以乙醇為介質球磨，烘干，700℃預燒3h，再以乙醇為介質球磨，烘干，壓制成坯片，燒結成BNT?BC?ZnO靶材；將BNT?BC?ZnO靶材和(111)Pt/Ti/SiO2/Si(001)基片分別安裝在靶材托和基片托上，調整靶材和基片的距離，抽真空，加熱基片，在背底真空達到10?4?Pa、基片溫度500?700℃后，通入氬氣和氧氣，氣壓0.5?5Pa；調節(jié)濺射功率為50?200W，靶材起輝后，開始生長薄膜，薄膜生長結束，原位退火，即成，本發(fā)明材料配方簡單，易制備，產(chǎn)品質量好，環(huán)保。