本發(fā)明公開了一種ICP霧化室的清洗裝置及清洗方法，該清洗裝置包括ICP霧化室、轉(zhuǎn)換三通、過濾器、溶液槽和循環(huán)泵等，主要利用循環(huán)泵帶動(dòng)清洗溶液反復(fù)循環(huán)沖洗ICP霧化室，并通過轉(zhuǎn)換三通實(shí)現(xiàn)ICP霧化室的進(jìn)樣端、出樣端和廢液端的同時(shí)清洗，避免傳統(tǒng)清洗方法中高濃度強(qiáng)酸的長時(shí)間接觸風(fēng)險(xiǎn)，操作簡單、清洗效率高、安全無危險(xiǎn)、避免造成ICP霧化室的損壞。同時(shí)，由于過濾器為可拆洗結(jié)構(gòu)，能實(shí)現(xiàn)清洗污垢的過濾，避免清洗溶液槽或超純水槽的二次污染，還能使一組清洗溶液反復(fù)使用，極大降低清洗成本。另外，經(jīng)清洗吹干后的ICP霧化室干凈清潔，在安回儀器后，進(jìn)樣端無積液產(chǎn)生，霧化效果良好，使儀器的霧化氣流速和霧化壓力指標(biāo)正常，保證檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性。