本發(fā)明涉及一種用于制備
石墨烯的智能型基片濕法腐蝕處理裝置,包括底座、供液機構(gòu)、清洗盒、密封板、夾持機構(gòu)、噴頭、移動機構(gòu)、控制器和排氣機構(gòu),移動機構(gòu)包括第一電機、緩沖塊、第一驅(qū)動軸、滑塊、固定桿和擺動組件,排氣機構(gòu)包括入氣管、處理盒、加料管、加料盒和排氣管,加料盒內(nèi)設(shè)有加料組件,供液機構(gòu)包括支柱、供液盒、第一水管、第二水管、第三水管和水泵,該用于制備石墨烯的智能型基片濕法腐蝕處理裝置通過移動機構(gòu)帶動噴頭移動對基片的各處進行沖刷清洗,去除基片表面的雜質(zhì),使氣相反應(yīng)沉積時石墨烯均勻分布在基片表面,不僅如此,通過排氣機構(gòu)吸收清洗產(chǎn)生的二氧化氮,防止廢氣危害操作人員,進一步提高了設(shè)備的實用性。
聲明:
“用于制備石墨烯的智能型基片濕法腐蝕處理裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)