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銅/鉬蝕刻液組合物及其應(yīng)用

742   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 05:45:16
本發(fā)明提供了一種蝕刻液組合物,包括如下重量分?jǐn)?shù)的各組分:過氧化氫5~30%,過氧化氫穩(wěn)定劑0.1~5%,蝕刻抑制劑0.001~0.2%,蝕刻添加劑5~20%,pH調(diào)節(jié)劑0.1~5%,蝕刻形狀控制劑2~15%,以及余量的去離子水,所述蝕刻形狀控制劑為醇胺類化合物。該蝕刻液組合物不含氟化物,對環(huán)境友好,可降低對操作人員的危害,降低廢液處理成本,且蝕刻過程穩(wěn)定、蝕刻速率適中,能有效避免掏空現(xiàn)象的產(chǎn)生,最終得到形狀良好的金屬布線結(jié)構(gòu)。本發(fā)明還提供了該銅/鉬蝕刻液組合物在顯示面板制備中的應(yīng)用。
聲明:
“銅/鉬蝕刻液組合物及其應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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