本實(shí)用新型公開了一種PVD載板清洗機(jī),包括自動(dòng)清洗設(shè)備、程式控制柜和遠(yuǎn)程終端,所述自動(dòng)清洗設(shè)備包括依次并排設(shè)置第一酸洗浸泡槽、第二酸洗浸泡槽、清水浸泡槽、清水噴淋槽、加熱烘干槽,所述第一酸洗浸泡槽、第二酸洗浸泡槽、清水浸泡槽、清水噴淋槽、加熱烘干槽上方設(shè)置有行車機(jī)構(gòu)和廢氣抽排系統(tǒng),所述行車機(jī)構(gòu)連接一次性承裝多片載板的多片式花籃,所述加熱烘干槽側(cè)面設(shè)置有計(jì)算機(jī)程控及遠(yuǎn)程系統(tǒng),所述遠(yuǎn)程終端通過(guò)程式控制柜和計(jì)算機(jī)程控及遠(yuǎn)程系統(tǒng)控制自動(dòng)清洗設(shè)備。本實(shí)用新型通過(guò)計(jì)算機(jī)程序編輯控制準(zhǔn)確完成編程中設(shè)定的每道清洗動(dòng)作及流程,以高度自動(dòng)化程序取代人員操作,具有穩(wěn)定清洗產(chǎn)能及清洗質(zhì)量,避免人員暴露在危險(xiǎn)操作中。
聲明:
“PVD載板清洗機(jī)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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