本實(shí)用新型涉及廢氣處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備止回閥，包括上蓋和下蓋，上蓋和下蓋的中部貫穿設(shè)置通孔，所述上蓋靠近下蓋的外側(cè)突出設(shè)置上凸起，所述下蓋在靠近上蓋的外側(cè)突出設(shè)置下凸起，本實(shí)用新型的有益效果是：本止回閥因其在等壓環(huán)境下為閉合狀態(tài)，具有自動(dòng)復(fù)位功能，所以安裝位置及角度不受限制，角度可以隨意安裝，很大程度上提高了實(shí)用性能；機(jī)臺(tái)內(nèi)安裝位置不受限制，在進(jìn)口、出口都可安裝，裝在進(jìn)氣口更加有效的避免氣體逆流引起管路高溫危險(xiǎn)；相比傳統(tǒng)的技術(shù)，本實(shí)用新型通過逆止擋板的設(shè)計(jì)，可以做到有效密封，避免磨損；本實(shí)用新型適用性強(qiáng)，可以更改進(jìn)出口連接方式進(jìn)而應(yīng)用在走水管路中。