基于AFM的納米機械性能檢測裝置,它涉及的是納米機械性能檢測的技術領域。它是為解決現(xiàn)有測量方法存在其檢測設備價格昂貴,現(xiàn)有的AFM系統(tǒng)不能夠直接提供反映表面機械性能的壓痕過程曲線及不能測量按一定速率加載的刻劃過程的摩擦力信號的問題。主控計算機(1)通過串行通信電路(2)、第一單片機(4)、光電隔離電流環(huán)串行接口通道(8)、第三單片機(11)、三路D/A轉換電路(12)及第二單片機(9)、兩路A/D轉換電路(10)分別連接二維工作臺控制器(13)、二維工作臺(14)與AFM系統(tǒng)(15)。它還具有制造成本價格便宜,能夠直接提供反映表面機械性能的壓痕過程曲線及能按一定速率加載的刻劃過程的摩擦力信號。點陣壓痕的最大范圍為100ΜM×100ΜM,刻劃長度為100NM~100ΜM。
聲明:
“基于AFM的納米機械性能檢測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)