本申請?zhí)峁┝艘环N衍射光學元件的性能檢測系統(tǒng)、方法和裝置,該系統(tǒng)包括:光發(fā)射器件,光發(fā)射器件用于發(fā)射預定光至衍射光學元件中;接收設備,包括接收屏,接收屏位于光發(fā)射器件的一側,預定光經過衍射光學元件衍射后在接收屏上形成多個光斑點;圖像處理裝置,位于接收屏的遠離光發(fā)射器件的一側,圖像處理裝置用于獲取接收屏上的多個光斑點的圖像,并根據(jù)圖像計算衍射光學元件的衍射效率、衍射均勻性以及視場角中的至少一個。該系統(tǒng)根據(jù)獲取的圖像計算衍射光學元件的至少一項性能參數(shù),從而實現(xiàn)對衍射光學元件的性能的檢測。
聲明:
“衍射光學元件的性能檢測系統(tǒng)、方法和裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)