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一種真空環(huán)境下靜壓氣體軸承的性能檢測裝置及其使用方法

909 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 06:22:39

一種真空環(huán)境下靜壓氣體軸承的性能檢測裝置及其使用方法，它至少由：真空室、供氣管、供氣壓力調(diào)節(jié)閥、加載砝碼、位移傳感器、承載面、支架、底座、放氣閥、電阻規(guī)I、插板閥I、分子泵I、分子泵I固定架、真空室排氣管I、真空室排氣管II、機械泵I、隔斷電磁閥I、壓差閥I、分子泵II固定架、分子泵II、壓差閥II、軸承排氣管I、軸承排氣管II、機械泵II、隔斷電磁閥II、插板閥II、調(diào)平支架、軸承排氣管III、靜壓氣體軸承、電阻規(guī)II、靜壓氣體軸承排氣槽、靜壓氣體軸承排氣孔、靜壓氣體軸承供氣孔和靜壓氣體軸承供氣槽組成，本發(fā)明可以檢測真空環(huán)境下不同供氣壓力和氣膜厚度靜壓氣體軸承的承載能力和潤滑氣體的泄漏量。

聲明：

“一種真空環(huán)境下靜壓氣體軸承的性能檢測裝置及其使用方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)