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一種探針卡、檢測裝置以及晶圓檢測方法

787   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:25:55
本發(fā)明提供一種探針卡、檢測裝置以及晶圓檢測方法,其中,探針卡包括:電路板,所述電路板具有一孔洞,具有導(dǎo)電圖案;圖像接收組件,設(shè)置于所述電路板的第一面;探針組件,設(shè)置于所述電路板的第二面;光學(xué)整形元件,設(shè)置于所述圖像接收組件的一側(cè);通過探針卡的探針組件電接觸晶圓上的光源芯片實現(xiàn)對光源芯片的電導(dǎo)通,通過圖像接組件以及光學(xué)整形元件可以實現(xiàn)對光源芯片的光學(xué)性能檢測,本發(fā)明可以在晶圓級上實現(xiàn)光源芯片的檢測以及質(zhì)量篩選,且可以同時實現(xiàn)對光源芯片進(jìn)行光學(xué)性能檢測以及電學(xué)性能檢測,提高了檢測效率降低了生產(chǎn)成本。
聲明:
“一種探針卡、檢測裝置以及晶圓檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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