本發(fā)明涉及一種微型氫氣傳感器,具體涉及氫氣傳感器中鈀-納米二氧化錫薄膜狀電極的制備與性能檢測(cè),是以
氧化鋁做底片,采用無(wú)電極電解的方法將鈀和納米二氧化錫沉積到底片上作為氫敏材料,本發(fā)明提供一種鈀-納米二氧化錫薄膜狀電極的制備方法,作為氫敏材料,更好地提高氫氣傳感器的性能,納米二氧化錫材料的研發(fā)和應(yīng)用有助于提高二氧化錫氫氣傳感器的性能,將二氧化錫摻入鈀等貴金屬可以提高靈敏度、減少響應(yīng)時(shí)間,還可以降低操作溫度,本發(fā)明響應(yīng)時(shí)間較短,穩(wěn)定性和重復(fù)性都較好,特別適合于室溫檢測(cè),而且傳感器尺寸微小,加工成本低,便于微型化,集成化和產(chǎn)業(yè)化,基底載體的陶瓷片還可以回收利用。?
聲明:
“基于鈀-納米二氧化錫薄膜狀電極的室溫氫氣傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)