本發(fā)明公開了一種基于數(shù)字微鏡器件衍射效應(yīng)的微透鏡陣列制備與檢測裝置,該裝置包括紫外LED光源、氦氖激光器光源、DMD器件、擴束器、第一雙凸透鏡、空間濾波器、第二雙凸透鏡、第三雙凸透鏡、雙色鏡、顯微鏡物鏡、三維電動平臺、第四雙凸透鏡以及CCD相機。該裝置能有效地工作在光刻膠曝光和微透鏡光學(xué)性能檢測兩個模式;所述的計算機通過信號線分別與紫外LED光源、氦氖激光器光源、DMD器件、三維電動平臺、CCD相機相連。本發(fā)明既可以實現(xiàn)在光刻微加工中的微透鏡陣列制備,也可以實現(xiàn)對微透鏡陣列結(jié)構(gòu)的光學(xué)性能進行檢測。
聲明:
“基于數(shù)字微鏡器件衍射效應(yīng)的微透鏡陣列制備與檢測裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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