本發(fā)明涉及一種自動(dòng)上下料系統(tǒng),解決了常見(jiàn)的人工對(duì)晶圓片缺邊或者缺口位置進(jìn)行查找,導(dǎo)致工作效率低下的問(wèn)題,其技術(shù)方案要點(diǎn)是,包括:用于容置晶圓片的料盒;對(duì)所述料盒起到承載作用的、驅(qū)動(dòng)所述料盒沿水平方向或豎直方向動(dòng)作的驅(qū)動(dòng)裝置;對(duì)所述驅(qū)動(dòng)裝置起到承載作用的工作臺(tái);承載于所述工作臺(tái)上的、位于所述料盒一側(cè)且用于定位所述晶圓片的缺邊或缺口位置的檢測(cè)組件;承載于所述工作臺(tái)且位于所述檢測(cè)組件一側(cè)的、用于承載所述晶圓片、以對(duì)所述晶圓片進(jìn)行性能檢測(cè)的載臺(tái);以及,機(jī)械手裝置,達(dá)到對(duì)晶圓片自動(dòng)檢測(cè)以及定位、上下料的目的。
聲明:
“一種自動(dòng)上下料系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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