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晶圓作業(yè)控制系統(tǒng)

790   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:27:33
本發(fā)明公開了一種晶圓作業(yè)控制系統(tǒng),所述系統(tǒng)包括存儲模塊和執(zhí)行模塊;所述存儲模塊儲存有各批次晶圓進行生產(chǎn)工藝時需要經(jīng)過的腔室順序;其中一批次晶圓在進入一反應(yīng)腔室進行生產(chǎn)工藝時,所述執(zhí)行模塊讀取存儲模塊中儲存該批次晶圓需要經(jīng)過腔室的順序并執(zhí)行該操作,使得該批次晶圓分別在不同的腔室內(nèi)完成所有的生產(chǎn)工序。技術(shù)人員通過本發(fā)明根據(jù)電學(xué)性能檢測結(jié)果可很快判斷出問題腔室所在及相應(yīng)的生產(chǎn)設(shè)備,極大提高了發(fā)現(xiàn)問題工序的效率,同時還可根據(jù)實際情況及時調(diào)整各腔室內(nèi)的工藝順序,以適應(yīng)各種生產(chǎn)情況。
聲明:
“晶圓作業(yè)控制系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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