本發(fā)明涉及一種Si基緩沖層鍍膜玻璃的光學(xué)參數(shù)檢測(cè)方法,該緩沖層鍍膜為SiCxOy,0<x<1,1<y<4,屬于鍍膜玻璃檢測(cè)領(lǐng)域。該方法是在獲得SiCxOy緩沖層鍍膜玻璃橢圓偏振光譜的基礎(chǔ)之上,引入三層膜層結(jié)構(gòu)以及光學(xué)色散方程,通過迭代來回歸實(shí)測(cè)橢偏光譜,最終獲得SiCxOy鍍膜玻璃的膜層結(jié)構(gòu)及其每一層的光學(xué)參數(shù),利用該方法實(shí)現(xiàn)鍍膜玻璃光學(xué)性能的在線監(jiān)控。本發(fā)明僅采用橢偏光學(xué)測(cè)試手段便可準(zhǔn)確地獲得薄膜的膜層結(jié)構(gòu)及光學(xué)參數(shù),對(duì)樣品無損傷、測(cè)量耗時(shí)少、測(cè)試方法簡(jiǎn)便、對(duì)被測(cè)樣品表面無特殊要求,十分適合于SiCxOy節(jié)能鍍膜玻璃的性能檢測(cè)及監(jiān)控。
聲明:
“一種Si基緩沖層鍍膜玻璃的光學(xué)參數(shù)檢測(cè)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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