本實用新型涉及一種基于氣體流量測量氣膜內氣體密度的裝置,屬于精密設備性能檢測領域。本實用新型所述基座固定在水平地面上,隔震平臺放置在基座上,大理石平臺放置于水平的隔振平臺上,空氣靜壓軸承放置在大理石平臺中央,壓力傳感器放置在空氣靜壓軸承正上方,傳感器支架一端固定在隔震平臺上,傳感器支架另一端連接微位移傳感器接入微力傳感器,氣缸安裝在支架上并位于壓力傳感器的正上方;空氣壓縮機把氣源經過壓縮之后,由三通分出三路氣體分別給氣缸和空氣靜壓軸承供氣。本實用新型通過氣體流量的調節(jié),通過氣膜厚度變化對氣膜間隙的影響,從而利用所測得氣體流量的變化量計算出氣膜內氣體的密度。
聲明:
“一種基于氣體流量測量氣膜內氣體密度的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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