本發(fā)明公開了一種真空干燥條件的確定方法和真空干燥裝置。真空干燥裝置包括:抽真空機(jī)構(gòu)、加熱機(jī)構(gòu)、真空干燥腔、形貌檢測組件和控制機(jī)構(gòu)。采用該真空干燥裝置對OLED器件需要干燥的功能膜層進(jìn)行干燥,且在干燥過程中可以對功能膜層的形貌進(jìn)行實(shí)時掃描檢測,實(shí)現(xiàn)對功能膜層的形貌變化的實(shí)時監(jiān)控;并可以通過對預(yù)設(shè)真空干燥條件下功能膜層形貌的實(shí)時平整度信號和基板形貌的初始平整度信號進(jìn)行比較,得到適合所述功能膜層干燥的真空干燥條件。進(jìn)一步地,在該真空干燥條件下對待干燥的功能膜層進(jìn)行干燥,能夠提高功能層成膜的均勻性,達(dá)到提高顯示器件性能的效果。
聲明:
“真空干燥裝置和真空干燥條件的確定方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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