本發(fā)明提供了一種用于常壓多氣體漏率測試的質譜
分析檢測裝置及方法,包括:氣體檢測室與真空系統(tǒng)連接;氣體檢測室與氣體分析及校準系統(tǒng)連接;氣體檢測室與循環(huán)氣體取樣系統(tǒng)連接;真空計與氣體檢測室連接;氣體檢測室用于氣體檢測與分析;真空系統(tǒng)用于氣體檢測室抽真空,真空系統(tǒng)抽速滿足氣體檢測室工作真空壓力要求;氣體分析及校準系統(tǒng)用于漏率檢測以及質譜分析儀的標定;循環(huán)氣體取樣系統(tǒng)將密閉檢漏容器內的氣體進行循環(huán)并引入氣體檢測室;真空計用于對氣體檢測室進行真空測量。本發(fā)明的常壓多氣體漏率測試的質譜分析方法及檢測裝置能夠快速、精確、可靠的對航天器的整體密封性能進行高精度、快速漏率測試。
聲明:
“一種用于常壓多氣體漏率測試的質譜分析檢測裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)